Цель брызгать особой чистоты 99,5% Титанюм для системы покрытия Пвд

Титан брызгая цель 99,5%, 99,95% D100x40mm, D65x6.35mm

Очищенность основной индекс представления материала цели, потому что очищенность материала цели имеет большее влияние на представлении фильма.

Основные требования производительности материала цели:

Очищенность основной индекс представления материала цели, потому что очищенность материала цели имеет большее влияние на представлении фильма. Однако, в практическом применении, требования к очищенности цели нет этих же. Например, с быстрым развитием индустрии микроэлектроники, размер силиконового чипа был начат от 6", 8" до 12", пока связывая проволокой ширина была уменьшена от 0.5um к 0.25um, 0.18um или даже 0.13um. Ранее, 99,995% из очищенности цели могут соотвествовать отростчатые 0.35um IC, пока подготовка линии 0.18um требует 99,999% или даже 99,9999% из очищенности цели.

Примеси в твердом теле цели и кислороде и водяном паре в порах основные источники загрязнения. Различные материалы цели имеют различные требования для различного содержания примеси. Например, чистый алюминий и цели алюминиевого сплава для индустрии полупроводника имеют различные требования для содержания щелочного металла и содержания радиоактивного элемента.

Уменьшить пористость в твердом теле цели и улучшить свойства брызганных фильмов, необходима, что имеет цель обычно высокую плотность. Плотность цели не только влияет на тариф брызгать, но также влияет на электрические и оптически свойства фильма. Выше плотность цели, лучшее представление фильма. К тому же, увеличение плотности и прочности цели может сделать цель лучше выдержать термальный стресс в процессе брызгать. Плотность также индекс ключевой производительности цели.

Вообще, материал цели поликристаллическая структура, и размер зерна может быть от микрометра к миллиметру. Для такого же вида цели, тариф брызгать цели с небольшим размером зерна более быстр чем эта из цели с большим размером зерна, пока распределение толщины фильма депозированного целью с небольшой разницой в размера зерна (однородным распределением) более равномерно.