Части вольфрама & молибдена запасные для инструментов Ionenimplantation

Части вольфрама & молибдена запасные для инструментов Ionenimplantation

Части вольфрама & молибдена запасные для инструментов Ionenimplantation процесс вакуума в индустрии полупроводника для того чтобы дать допинг вафлям с ионами, которые изменяют электрические свойства материала вафли, например проводимость. Процесс разделен в следующих шагах: Творение ионов в источнике иона, извлечении и массовом разъединении ионов для выборочного вживления, diverion луча, ускорении и фокусировать луча иона к вафле. Эта зона implanter иона вызвана линией луча.

Материалы высокой эффективности используемые для частей в линии луча вольфрам, молибден, Tantal и графит. К тому же использованы амортизаторы высокой чистой керамики, например МЛРД.

Fanmetal обеспечивает высококачественные потребляемые вещества и компоненты замены для beamline в ионе Implanters AMAT, Varian и Axelis. Подъемы оборудования и изменения частей согласовывая требования к клиентов для технологических прогрессов дополнительные услуги.

Схема луча иона в implanter иона.

Части вольфрама & молибдена запасные для изображения инструментов Ionenimplantation: